Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии, Берлин Е.В., Сейдман Л.А. отзывы

Тип: Другие книги
Производитель

Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии — реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов.Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких...Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии — реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов.Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок…